二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314258 待售

ID: 9314258
晶圆大小: 4"
(4) Developer system, 4".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 PhotoResist设备是一种先进的成像系统,为光刻生产提供极致的精确度和精确度。该单元非常适合用于开发高性能半导体和平板显示器应用。该机器由安装在真空室上的高精度光学单元组成,光学单元包含RGB激光源、CCD成像工具和用于样品加载和成像的运动台。这种精密设备的组合使TEL MARK8能够达到15nm的最大分辨率,在光刻方面提供了无与伦比的清晰度。该光学器件设计用于精确控制激光束的轮廓,在选定的波长下产生近乎平行的光束。光束角是可调的,以确保最佳聚焦和图像的有效转移到晶圆。CCD成像资产旨在捕获分辨率高达15nm最大分辨率1.2倍的样品图像,提供光刻系统中从未见过的详细程度。运动阶段能够同时控制样品相对于激光的倾斜和旋转,确保图像完全转移到晶圆上。此外,TOKYO ELECTRON MARK-8能够产生多次通过的图像,允许用户对具有不同脉冲的光进行成像。这提供了在操作之间切换的灵活性,例如使用单个脉冲创建错综复杂的模式或生成交错图像以获得更大的覆盖范围。此外,该模型还能够执行蚀刻和脱漆等操作,以及处理双层曝光或特殊黄光曝光等独特的曝光模式。TOKYO ELECTRON MARK 8的精密光学、先进的成像技术和强大的性能能力相结合,使其成为半导体和平板显示行业光刻工作的理想解决方桉。该设备能够为图像提供高度的清晰度和细节,从而实现其他成像系统无法比拟的准确生产和结果。
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