二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314262 待售
网址复制成功!
ID: 9314262
晶圆大小: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
ADH
(8) HP
(3) COL
Inline
Interface.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款设计用于半导体电路板的光阻设备。它被用于制造晶圆和IC上的纤薄电路,以及用于掩蔽和光刻工艺。该系统旨在提供可靠、准确的分辨率以及高精度的配准。该单元结合了大功率紫外线源、光束几何机和投影点,在晶圆上的高级层纹制作中提供精确的均匀性。该工具能够以遮罩或平版印刷图桉的形式产生清晰定义的图像。资产还包括一个控制器,设计用于提供一系列不同的控制模式,包括恒定时间、恒定电流等。控制器还可用于存储和控制模型的各个方面,包括校准、预栅格控制以及附加的模式形成参数。设备连接到各种传感器和其他设备,以提供广泛的功能。例如,它可以用来测量每一层的焦点和对齐方式,也可以用来检测每一层的抗蚀剂轮廓。此外,它还可用于记录晶片表面的轮廓,以供以后查看。TEL MARK8设计用于支持多种光刻胶,适用于热和离子束处理等多种处理。它还能够进行蚀刻、沉积、退火等几种后处理操作。该系统旨在提供卓越的吞吐量和精度,使其成为高端半导体产品的理想选择。该单元还设计为易于操作和维护,并与各种现有工具和设备兼容。总体而言,TOKYO ELECTRON MARK-8光刻机的设计旨在简化晶圆和IC上的纤薄电路的制造过程,提供精确的分辨率、高通量和优异的可靠性。是高端半导体产品的理想选择。
还没有评论