二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314983 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光抗蚀剂设备是行业领先的可靠设计、开发和制造高品质集成电路的系统之一。它具有创新和多用途的特点,能够以最小的废弃量、最小的设置、周期时间和成本来制造复杂而复杂的设计。TEL MARK8有一个集成的高温计和冷却板，并有一个加热的腔室，可以达到摄氏500至1000度的温度。它还具有真空-紫外线极化光学系统，优化了光刻投影仪的极化和聚焦能力。这样可以确保实现最精确的成像。此外，该设备在提供方便用户的可调整和可重复的工艺参数方面也非常成功。这样可以在很长一段时间内实现高度优化和一致的光刻工艺。TOKYO ELECTRON MARK-8还具有一个容量排水（CD）模块,该模块可监视和控制容纳在室内的抗蚀剂的体积,从而实现一致和可重复的结果。此外，它的Photo Asher （PA） Module允许及早去除暴露的抗蚀剂和更无氧化的蚀刻工艺。Mark 8's Visual Inspection Machine （VIS）确保严密监控光刻结果以优化工艺。它可以用来检测和去除晶圆表面的任何残留物，以及在蚀刻前验证图桉的完整性。该工具的Total Automation Asset （TAS）允许各种任务自动化,从而使用户能够获得更高的吞吐量和质量。它支持数据驱动操作,以检查光刻结果并确定优化工艺的趋势。最后,MARK8的图像传感器模型旨在提供快速准确的数据分析,并使用户能够优化和微调设备条件,以确保高精度光刻。MARK-8光刻系统是一个强大而高效的工具，可以实现一致、经济高效和精确的光刻。它的高级功能使用户能够以最低的安装成本和周期时间开发复杂的设计,而其集成功能可确保精度并提高整体生产率。