二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9351474 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一种最先进的光致抗蚀剂设备，设计用于制造亚微米级的薄晶圆器件。该系统具有先进和精确的成像光学器件,可生成设备的聚焦和清晰图像,从而实现一致、准确、干净的光刻对准。此外，TEL MARK8的亚一波长法能够在亚微米范围内的各种设备中产生复杂的模式。TOKYO ELECTRON MARK-8有三个主要成分：一个源输入、一个光学投影单元和一个抵抗涂层机制。源输入与各种激光源兼容，允许一系列计算生成的曝光剖面。光学投影机是工具的心脏，由紫外线光源、可编程光学扫描仪和成像物镜组成。通过控制UV光束的时序和方向，这种资产可以在亚微米特征大小下生成高度精确的图像。模型的抗蚀性涂层机构以极精确的水平将光致抗蚀剂分配到晶片上。由于这种精度，抗蚀层在整个设备上是一致和均匀的。TOKYO ELECTRON MARK8还具有几个先进的技术特点。例如，激光扫描和曝光设备能够进行实时曝光扫描，这是薄膜设备的理想选择。它可以用于同时光刻和曝光操作，导致更高的吞吐量。此外,该系统还可以快速准确地分析表面缺陷和边缘损坏,从而通过抢先清除任何损坏区域来降低后处理成本。综上所述，TEL Mark 8是一种高度先进的光阻装置，能够生产精密的激光扫描设备。通过可编程成像光学器件、亚一波长法以及实时曝光扫描等附加功能，这台光刻机具多功能光刻对准和耐涂层作业能力，精度高，通量高。