二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364571 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是一种用于制造硅集成电路等小型结构的光刻系统。它能够打印低至0.28微米的分辨率，允许生产尺寸最小的元件。TEL MARK8的光学单元以五元光学机器为基础，由一个g线光源（波长为436 nm）、一个曝光透镜、一个形状校正光学工具、一个物镜和一个包含主图样的标线组成。TOKYO ELECTRON MARK-8的主要组成部分是曝光资产，它由一个照明源、一个将光引导到晶圆上的曝光光学透镜、一个照明窗口和一个图像测量模型（EMS）组成。光源在435-438nm下产生节能激光器，然后通过曝光光学透镜将其收集、准直并聚焦到覆盖光刻剂的晶片上。然后将晶片放置在X-Y级上,以便沿x-y轴移动。为了保证准确的位置控制，采用磁感应测量设备和零偏转系统的激励。然后使用EMS单元检查传输到晶片的光刻胶层的图样是否有错误。EMS机器使用电荷耦合器件（CCD）吸收从图样反射的光，并使用光学方法创建有限图样的虚拟地图。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8工具使用自旋涂层、预烘烤、暴露于激光、后曝光烘烤、开发等工艺。一旦晶片被自旋涂层并预先烘烤，它就会从使用曝光光学透镜聚焦到晶片表面的照明器源接触到激光。曝光后，晶片经过曝光后烘烤，然后用甲醇或温和的酸将曝光的光刻胶层去除，留下印在晶片上的图样。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8资产还包括许多安全功能，如防止光源长期暴露的快门释放模型、增加阻燃聚苯乙烯内部结构以及使用含氮环境进行可变抗压涂层。此外，晶片的放置和X-Y级的运动由装在其控制柜中的低压控制电子设备控制。这些功能使TEL Mark 8能够在制造过程和最终用户使用过程中提供高度的准确性、更清洁的生产以及最小化的颗粒污染。TEL MARK-8光阻系统是生产高精度和可靠的晶体管级电子器件的重要工具。