二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364572 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9364572
晶圆大小: 6"
(2) Coater / (2) Developer systems, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是来自着名半导体设备制造商TEL的最新一代光刻系统。TEL MARK8光致抗蚀剂系统是同类设备中最先进的一种,它允许在各种基板上精确绘制复杂的图样。TOKYO ELECTRON MARK-8机结合了精密光学、先进化学加工技术和高性能机器人自动化等方面的最新进展,实现了无与伦比的精度、速度和重复性。TEL MARK-8资产凭借其高功率的照明工具以及对光掩模和晶片堆栈的自动处理,可以最精确地快速移动、聚焦和曝光最复杂的图样。TOKYO ELECTRON MARK8模型还具有先进的多点迭加设备,允许在单个曝光中生成大图样,而不包含图样的精度。这样可以在大面积上快速暴露复杂的模式,并提高组件的吞吐量。此外,系统使用高精度、激光蚀刻的光掩模,具有清晰定义的图样,以获得准确的结果。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8单元还拥有一台全自动、高性能的湿式化学加工机,将处理光刻胶时遇到的污染、相位分离、抗图样失真、蚀刻误差等影响降至最低。湿化学工具还允许沉积尺寸从50 nm到几百微米。Mark 8光致抗蚀剂资产也与一系列抗蚀剂材料兼容,如Positive、Negative和Semi-Positive。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8模型智能地平衡了温度、压力、速度和时间等几个关键参数,以确保每批光致抗蚀剂的处理一致且可重复。这允许用户获得与指定图样和适当蚀刻深度一致的表面纹理并抵抗收缩。总体而言,TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是每一项光刻工作的高效而有力的解决方桉。系统的灵活性、准确性和可重复性导致了无与伦比的精确度水平,不存在猜测或错误的余地。结合这些功能,MARK8单元是满足任何组织光刻需求的可靠主力军。
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