二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364576 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻设备是设计用于半导体光刻工艺的强大工具。利用激光感应热成像技术，为开发人员提供了在半导体基板上精确阵列电路结构的能力。TEL MARK8能够在晶圆平面上以248或365 nm的波长将基板暴露在紫外线下。这样可以形成具有高度可重复性和对原始设计保真度的小特征。此外，该系统还可用于暴露其他波长包括激光辐射和偏振光的基板。该单元还具有许多用于控制制造过程的高级功能。这包括控制曝光的焦点，可以调整以方便晶圆上结构的最高分辨率。此外,TOKYO ELECTRON MARK-8还可以产生多次曝光,以创建具有最佳覆盖范围的所需模式。此外,还可以使用机器的"层停止"功能来限制对某些层的曝光,从而确保生成的图样具有正确的尺寸和形状。TOKYO ELECTRON MARK 8还支持一系列光刻工具和技术，允许对能量和焦点等过程变量提高精度和控制。其中包括用于形成亚微米结构的0.3微米分辨率接近成像、离轴照明技术以及能够形成高特征密度的坚固结构的多次曝光溷合工艺。总体而言，Mark 8工具是半导体光刻工艺的重要工具。它能够产生极其精确的结果，即使特征小于微米。该资产支持多种先进的光刻技术,并提供一系列强大的自动化功能。这使得它成为任何希望在半导体基板上创建复杂结构的开发者的宝贵工具。