二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364577 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款用于半导体器件制造的光阻设备。该系统设计用于加工直径可达450毫米的基板，并能够将光刻胶层暴露在厚度可达数微米的基板上。TEL MARK8设备具有多种功能,可确保光掩模曝光过程准确且可重复。该机器由图像投影工具提供动力,该工具提供高达1 kV的超高分辨率,使用精确的光学资产设计来生成高达2 mJ/cm2的图像分辨率。此外,该模型还采用了先进的过程自动化技术,如自动对齐（Auto-Align,自动对齐基板以提高准确性和可重复性）,以及自动优化（Auto-Optimization）,自动调整曝光参数以确保最佳工艺条件。设备还配备了运行各种诊断的先进计算机系统，如监控应用程序、曝光条件、掩模对准等参数。这使操作员能够排除问题并确保光刻过程稳定。为了确保在使用时的安全，TOKYO ELECTRON MARK-8光致抗蚀剂装置的设计具有机载粒子感应和图像投影机上的保护罩等多种安全特性。此外,该工具还配备了各种保护功能,使其能够检测与暴露相关的潜在错误,并在发生错误时立即切断电源。最后,该资产设计为易于使用,具有用户友好的图形界面和全面的文档以提供操作指导。该模型还准备好了一个预先编程的设置库，以确保最佳的过程条件。总体而言，MARK-8是用于半导体器件制造的完美光刻设备，因为它具有高精度、可重复性、安全特性、易于操作和预编程设置。