二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293592869 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是一种光阻设备，设计用于对多达4英寸的晶圆进行直接成像。该系统的主要部件是其超高倍投影光学器件、精密级以及集成PC和软件。TEL MARK II的投影光学器件提供高达814mm × 1.2mm的高分辨率成像能力,放大倍率高达1.75。它的成像镜头是由集成卤素灯照射的多元件变焦。透镜的双光学截面促进了低倍率和高倍率成像。此外，镜头具有闭环自动快速变焦操作，可以在不同的放大倍率级别之间快速移动。TOKYO ELECTRON MARK II的精密级是为了平稳的操作和快速的光刻运动而设计的。该装置利用压电驱动的电动机以高达每秒1mm的速度精确移动晶片级。舞台由一台内部内存机器管理，该机器最多存储10,000个晶圆坐标，并允许用户在它们之间快速移动。该工具的集成PC和软件可以处理多种图像格式，并且对于不同的晶圆尺寸易于编程。它还提供了高级剪接功能,可无缝地将来自晶圆不同部分的图像缝合在一起。该软件还提供可编程曝光测序、自动对焦和可调成像参数等高级功能。MARK II非常适合对多达4英寸的晶圆进行高效、精确的光刻成像。它的超高放大光学和精密级提供了所需的准确性和分辨率,而其PC和软件则提供了多种高级成像功能。
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