二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293662824 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是市场上最先进的光刻胶系统之一。它用于在基板（通常是半导体）上创建平版印刷图样。TEL MARK II设备使用两个主要组件来完成此操作：紫外线源和射影光刻透镜。紫外线的光源被用来照射覆盖基板的光敏光敏材料。然后使用投影光刻透镜将这种光聚焦到基板上，在表面上形成高度精确的图桉。TOKYO ELECTRON MARK II系统设计用于要求严格控制光照射和精确模式定义的应用。以高分辨率的方式扫描光掩模，以确保模式的最佳定义，并且所使用的光源被设计为最大的一致性。此外，光刻胶可以以不同的图样自动分配到基板上，从而完全控制图样的定义。MARK II单元设计为完全集成,为光刻胶工艺提供了一个紧凑、高效和经济高效的解决方桉。无需打开设备即可更改photomask,并且该机器包含用于模式比较和结果归档的图像输出选项。该工具由先进的自动化资产控制,可以快速、轻松地设置配方和操作。TEL/TOKYO ELECTRON MARK II型号还提供了一系列配件，包括自动减速器、边缘斜角器和旋转器。这些附件有助于确保光刻胶工艺的准确性和可重复性。TEL MARK II光刻胶设备也与先进的过程控制系统完全兼容，例如EDAX信号处理软件，允许对光刻胶过程进行进一步的复杂和控制。总体而言，TOKYO ELECTRON MARK II光刻胶系统是一种高度先进、自动化的先进光刻工艺解决方桉。该单元的设计符合准确性和可重复性,其特点、附件以及与高级工艺控制系统的兼容性为复杂且要求苛刻的光刻应用提供了所需的灵活性。
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