二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293756479 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是一种用于制造半导体元件的光刻胶系统。它是一种用于从多晶硅、二氧化硅和半导体工业中使用的其他材料创造最新一代集成电路(IC)等产品的工艺。系统的工作原理是将所需的设计或图桉蚀刻到基材上,通常是通过光照过程。TEL MARK II使用两束光子曝光系统,用两束光束照亮基材的表面。当光线穿过遮罩时,它在基板材料上形成初始设计图桉。光束对准频率相关的接触遮罩级,它们的重迭在基板上创建所需的图样。使用TOKYO ELECTRON MARK II,底物材料可以以适当的强度和焦点暴露在光线下,确保光刻材料的均匀涂层和适当的蚀刻深度。这种光致抗蚀剂用于保护基材材料在工艺后期不被蚀刻掉。蚀刻过程中,光致抗蚀剂材料充当光的吸收剂,使蚀刻速率得到精确控制。MARK II还包括光刻胶显影剂,它使用溶剂去除了基板上暴露的光刻胶材料。这进一步有助于控制蚀刻速率,方法是确保保持所需的蚀刻速率,而不会降低或过度蚀刻设计。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON MARK II为半导体行业创造最新一代的IC和其他产品提供了可靠有效的工艺。其两束光子曝光和光刻显影剂显影剂系统确保了准确和精确的结果,有助于生产高质量和可靠的产品。
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