二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9181759 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是一种深紫外线（DUV）的光致抗蚀剂设备，设计用于生产先进的半导体器件。该系统包括一个功能齐全的溷合电子束和一线离轴曝光源，以及一个全自动抗蚀剂和蚀刻加工站。该单元非常适合寻求缩短设备制造周期的半导体工程师,同时提供高质量的结果。TEL MARK II配备了先进的电子束写入引擎，提供低能量密度，使抵抗散射最小化，并允许暴露超窄特性。可以进一步优化光束源,以便对50 nm以下的特征进行高效制图。通过离轴I-line曝光源增强曝光源,使您能够在单个步骤中快速曝光整个阵列区域。这台机器不仅仅是一个曝光源.它还旨在减少生产时间和提高工艺产量。它配备了高度自动化的抗蚀剂涂层、烘焙和开发工具，以及一个适应蚀刻加工模块。这使用户能够以最少的人工干预来执行整个流程序列。这确保了可靠且可重复的阵列处理过程。TOKYO ELECTRON MARK II具有先进的用户友好控制软件，基于图形用户界面（GUI）。GUI旨在缩短可操作性时间,并允许即使是最复杂的处理序列也能快速直观地控制资产。总体而言，MARK II是一款先进的DUV光刻模型，能够处理最具挑战性的图桉要求。它使用户能够减少过程时间、提高产量和提高设备生产质量。该设备非常适合那些希望在可靠性和可重复性方面拥有完全信心的超低分辨率设计产品。