二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226101 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是利用光刻技术工艺的高端光刻设备。光致抗蚀剂是一种先进的微细加工方法，可以得到非常精确的结果。TEL MARK II系统设计用于制造半导体芯片，包括先进的光刻元件组合。它利用了两个主要要素；无遮罩对齐器和步进器。无掩蔽对准器是一种将光掩蔽的光栅结构暴露于光源的光子流中的装置。光掩模的对准由一系列反射镜和检流计精确控制。步进器允许在基板上精确放置图样。步进器具有可移动级和一系列计算控制的电动机，这些电动机可以精确地控制基板的放置。此外,步进器还配备了激光对准和对焦单元、对准光以及具有可调脉冲宽度的光束增强器,以实现更高分辨率的成像。TOKYO ELECTRON MARK II也可以配合光刻胶处理室使用。该室是一个密封设施，在其中光敏材料被处理和应用到样品基板表面。在光刻加工阶段可以使用多种工具，如自旋涂层、气体活化、蚀刻、干膜开发等。MARK II机是光刻工艺的理想选择，因为它提供了可靠和精确的结果。此工具的组件匹配良好,因此可用于创建高精度和高效率的纳米尺寸电路。此外，还可以对TEL/TOKYO ELECTRON MARK II资产进行专业维修，从而能够在最短的停机时间内制造出精密的元件。