二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是由日本电子公司TEL开发的光刻胶设备。该系统是一种半自动全场成像技术，旨在提供光刻胶市场上最高程度的过程可重复性和灵活性。它是现有最全面的光刻胶系统之一，提供多种功能和高级功能。该单元的主要部件是对齐器、舞台和抵抗站。对齐器使晶圆对齐过程自动化，减少了样品定位所需的时间。它还通过消除在手动对齐过程中可能发生的错误来提高吞吐量。该级采用三轴定位器，可实现最大吞吐量和精确定位，并具有纳米分辨率。抗蚀站是一种全自动机器，能够同时分配几种抗蚀剂，从而提高吞吐量，降低成本。TEL MARK II工具还包括扫描仪和计量功能,使用户能够获得许多参数的详细定量测量,包括薄膜厚度、材料类型和地形。该资产具有晶片处理模型，其中包括一个通用持有人，该持有人不仅能够支撑传统晶片，而且能够支撑广泛的其他基材，包括MEMS晶片、粘合晶片和薄膜图样。TOKYO ELECTRON MARK II还提供了先进的控件，允许用户监视、分析和修改光刻胶工艺。先进的过程控制,例如设备的单低功耗模式,允许用户以尽可能低的功耗级别运行进程来节省能源。此外,系统还提供高级监控功能,允许用户查看来自各个流程步骤的实时数据,并即时调整流程参数。MARK II确保了高精度的结果,且变化程度低,从而降低了成本和时间。这些特性结合其灵活性，使得该单元成为光刻加工的可靠高效的工具。