二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #9282004 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IV是通常用于半导体器件制造的光刻设备。它是一个与平台无关的系统，支持广泛的基板，如硅片、复合半导体和绝缘体上硅（SOI）晶片。该单元设计用于广泛的应用，包括光掩模、直接成像、光刻、薄膜沉积、蚀刻和多通道光刻。TEL Mark IV光刻机具有高分辨率的光学成像工具，可配置各种基材尺寸。该资产配备了自动化的电动舞台，使其适合高通量的流程。另外，TOKYO ELECTRON MARK IV有内置照明模型，允许不同角度和强度的基板照明。设备的一个主要特点是它的模块化软件包，它提供了一系列选项来定制Mark IV到特定的应用程序。它可以配置一个平台上的涂层单元，使用户能够控制抵抗涂层的条件。此选项还包括手动和自动化的旋转涂层工艺和等离子体激活的抗蚀剂工艺。此外,还可以使用可选的阶段加热装置来实现温度控制。TEL/TOKYO ELECTRON MARK IV是一种快速易用的系统，非常适合原型设计和开发。该装置具有高精度和高速成像，即使基板复杂，也能提供优异的效果。此外，机器可以被配置为各种进程，允许它在广泛的应用中使用。