二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149603 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光刻加工设备，设计用于先进半导体器件制造的光刻工艺。它提供了增强的抵抗特性控制和先进的表面平面化功能。TEL Mark V能够精确、精确地处理高密度的抗拒设计和细腻的特性。该系统采用具有加热和冷却阶段、多个气源和其他组件的闭环单元，创造清洁、温度控制和无污染物的环境。它能够处理到非常高的精度和过程可重复性，包括运动均匀性、温度和湿度控制以及表面平面化。该机经过优化，实现了高精度的光刻涂层和蚀刻。它包括一个抗蚀剂溷合室，一个旋转涂层头，一个抗蚀剂剥离工具，和一个热板，以帮助去除抗蚀剂。其他功能包括阻挡干燥室、蚀刻室和用于设备后冷却的冷却器。TOKYO ELECTRON MARK-V设计了集成的用户界面,使设备工程师能够轻松调整和修改设置,以满足特定的光刻要求。它允许速度和温度、压力、浸入时间和功率水平等参数的快速变化，以实现精密蚀刻和涂层工艺。此外,MARK-V还配备了复杂的流程监控资产,可提供有关流程和故障状态的实时反馈,并确保对可重复的设备制造进行严格的流程控制。此型号还自动调整设置,以确保设备的最佳性能。总之，TEL MARK-V光刻胶系统是一种先进的器件制造工具，具有很高的精度和工艺重复性。其集成的用户界面和板载工艺监控单元使其能够适应一系列光刻要求，而其众多功能则支持蚀刻和抗涂层等先进工艺。TOKYO ELECTRON MARK V提供了可靠高效的光刻加工机器。