二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149604 待售

ID: 149604
(2) Coater / (1) Developer, i-Line.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种专门用于电子制造光刻的光刻加工设备。该系统能够产生细小部件的细小图桉,尺寸可降至0.35毫米。TEL Mark V是一种光学对准单元,利用光将光掩模暴露在基板上,允许产生精细的图桉。镜子从背面提供曝光,可调节的狭缝提供精细聚焦。高精度投影透镜将光掩模的图像投射到基板上生成图样。此外,还使用高端CCD摄像头对曝光偏差进行精细对准和校正。TOKYO ELECTRON MARK-V光刻机设计为高度模块化,允许自订组装零件以满足任何特定需求。这种灵活性允许设置各种曝光参数,包括分辨率、焦点和光照水平。它具有许多特点,有助于确保光刻的准确性。自动对准功能,加上高精度的投影镜头,导致更好的分辨率和曝光精度。也可用于快速加工大型基材。此外,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V设计了灵活的用户界面。使用用户友好的图形用户界面(GUI)可以对每个模块进行独立的控制和故障监控。此外,内部内存的存在允许长时间的曝光,从而为较厚的抗蚀层提供足够长的处理时间。TOKYO ELECTRON MARK V是一种可靠、精确的亚微米图样光刻工具。它提供卓越的分辨率、准确性、灵活性和性能,适用于先进的光刻和制造工艺。这一具有成本效益的光刻胶资产是现代半导体生产和先进研究应用的理想之选。
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