二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光刻设备是下一代光刻系统，采用最新的光学设计、微加工和半导体加工技术设计。TEL Mark V能够在微电子上以更高的精确度和可重复性再现图样，非常适合半导体芯片和微芯片制造。由TEL Ltd.开发的TOKYO ELECTRON MARK-V是一个专用的单元，用来在半导体晶圆上施加光刻胶。光致抗蚀剂是指一种可以通过暴露于辐射能而选择性去除的材料，使其成为半导体制造中使用的必要材料。TEL MARK-V机器利用这种特殊的材料以惊人的精度和可重复性创建电路模式。TOKYO ELECTRON MARK V工具能够用多种光刻材料以极小的尺度再现複杂的图样，也能有效的自旋涂覆更大的晶圆。MARK-V的特点包括高精度级、可编程转换表和高级光学资产。旋转木马式舞台能够容纳直径不超过4英寸的晶片。四步进电动机驱动表可以用多种配方和自动可重复的移动来编程，用于精确放置元件和材料。为了进一步确保精度，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V利用新开发的光束模型和高度稳定的激光。激光光束通过猫眼透镜阵列和光纤有效地传递到工件上。为了减少生产所需的时间,Mark V能够同时运行多个相同的配方,从而提供高吞吐量和减少工艺时间。清洁通过TEL/TOKYO ELECTRON MARK V的车载高端EPC（静电沉淀清洁器）和带有标准耐化学喷嘴的真空卡盘设备完成。TEL Mark V是一种高能力、超精确的微型元件先进的光刻胶系统。凭借其强大的功能、高吞吐量的能力和先进的光学设计，这款新一代设备的设计旨在确保半导体芯片和微芯片组件的最佳精度和可重复性。