二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293591398 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是使用光源在半导体表面上创建电路图样的光刻设备。该系统通常用于未来的设备制造和研发过程。该单元的光源由一个扫描激光器组成，该激光器将其输出光束到一个已涂有光刻胶的半导体晶片的表面上。激光利用不同的偏转角度在晶圆上产生不同的图样。光致抗蚀剂是一种辐射敏感材料，吸收激光，配制成与激光强度发生反应。通过改变偏转角度，可以产生具有较小特征的高分辨率电路模式。激光光学器件采用透镜抛物线排列，并采用平行板排列。TEL Mark V还具有几种类型的集成光学元件，包括用于更高精度控制的远心镜头。激光器还具有延长的焦距以获得更好的照明，并且可以调整以自动微调焦距。TOKYO ELECTRON MARK-V还具有多种不同的对准功能，如激光束对准机（LBAS）来编程对准测量，并使用多种不同的曝光后方法来微调过程。TOKYO ELECTRON MARK V还具有专有的掩码数据接口（MDI）层，以加快各软件层之间的数据交换。这允许来回发送数据,从而提高了设备的吞吐量。该工具还包括一个清洁室兼容的曝光/对齐站，可以在各种拓扑中进行配置，以适应不同的吞吐量要求。该资产能够使用单个晶片曝光设备或使用同步技术在多个晶片上曝光。Mark V的主要优点是吞吐量高、功能尺寸小、处理复杂数据传输的能力。它非常适合先进的设备制造和研发过程。