二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596565 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种先进的光刻胶系统，用来在各种底物上製造複杂的图样。它是一种多用途的机器，能够在从半导体晶片到平板显示器的各种材料上产生图像。TEL Mark V使用多种技术在晶圆上蚀刻或暴露光刻层，允许精确成像和图样。该机的一个关键特点是它能够采用平板材料，并以高分辨率精确的模式。光致抗蚀剂是一种光敏涂层，涂在基板上，在暴露于光线下形成图样。使用TOKYO ELECTRON MARK-V时的第一步是在基板上铺设光刻胶涂层。这一步骤对于图样传递至关重要，应谨慎准确地完成，因为光致抗蚀剂对所用光的选择和浓度敏感。接下来，Mark V使用一系列成像光学器件，例如激光，将所需的图桉投射到光敏层上。这些光学器件允许精确和精确的图桉，激光能够产生非常小的图桉特征。下一步是将底物暴露在与光刻胶层反应并形成所需图样的洗涤器显影台阶上。TEL MARK-V也能够进行光刻加工循环的其他阶段，如蚀刻和硬烘烤。蚀刻是去除光刻胶层的过程，而硬烘烤则涉及在高温下烘烤光刻胶层。这两个过程都发生在TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V腔室，这些过程的温度和时间可以通过软件控制。最后，基板准备使用。TOKYO ELECTRON MARK V是一种可靠、高效、精确的光刻胶系统。MARK-V凭借其先进的成像光学器件和控制光刻胶加工各阶段的能力，能够为各种基材制作出高质量的图样。它高效、精确的阵列设计功能使其成为需要精确成像的制造商的热门选择。