二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596582 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V是一种用于半导体制造的多功能光刻设备。它是一种先进的计算机控制的集群工具，能够处理各种各样的基材。利用电子束技术，它能够高精度地制图到150纳米。该系统可用于处理长达8英寸的晶圆尺寸，以及单个或多个基板。内置扫描仪可实现高分辨率模式的高速映射和对齐。它还具有内置的液晶成像单元和光学显微镜，以实现高精度聚焦光掩模。TEL Mark V使用V-CVD工艺，是化学气相沉积的一种变体。这个过程阻止了聚合物的氧化和沉积，这会造成表面缺陷。它还能确保均匀的表面层,提高晶圆产量.TOKYO ELECTRON MARK-V还配备了漂移补偿技术，允许精确的光束定位，以创建高分辨率的图样，不存在任何位置误差。为了获得最大产量，它还附带了先进的优化算法，以确保最佳剂量和焦点设置。该单元包括用于大面积阵列和可编程热场的大功率电子源，以避免模式失真。Mark V配备了最新的光掩模处理技术，可用于从液晶到超大规模半导体电路和下一代半导体器件等应用。该机也是便携式的，非常适合生产线中的应用。此外，它还受到IP44等级的保护，防止颗粒、灰尘和液体进入工具。最后还得益于先进的安全措施，包括护垫损伤和氧化防护。