二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620464 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用于制造半导体和印刷电路板微电子电路的光刻设备。该系统旨在快速、准确地将图像显影到硅、金属、玻璃和石英等基板上。它使用激光驱动的透射曝光技术，可以产生特征尺寸小于一微米的集成电路。TEL Mark V利用电子束蒸发过程，能够产生高长宽比特征。这是通过使用聚焦激光二极管将图样直接写入基板上的光敏层来实现的。曝光单元由曝光床、光学元件和旨在精确调整曝光强度、位置和持续时间的控制器组成。基板安装在一个旋转的曝光床上，这样就可以进行更高效的图像编程。该机还配备了最先进的抛光和蚀刻工具。这种设备使用户能够在基板上实现高度均匀的图桉，并保持从批次到批次的一致表面光洁度。该工具能够产生具有均匀晶体结构和紧密尺寸公差的高精度结果。这是由于使用了高级自动聚焦功能,该功能在曝光期间自动调整光束的焦点。该设备还采用了先进的温度控制算法，能够准确控制抗蚀层温度，从而实现最佳分辨率。TOKYO ELECTRON MARK-V通过先进的软件和直观的图形用户界面提供增强的用户体验。这为用户在风险敞口资产中提供了更好的控制和生产率。该模型旨在支持各种基板尺寸和厚度,以及超高长宽比功能。它还提供了高级网络和远程监视功能,使用户能够跨多个站点和时区协同工作。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V高度可靠,旨在最大程度地减少产品停机时间。这是由于它能够从外部条件或设备错误造成的故障中恢复。该系统还有一个内置的安全监控单元，在发生任何故障时自动关闭机器。