二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620469 待售
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ID: 293620469
晶圆大小: 5"
优质的: 2010
Coater / Developer system, 5"
Non-SMIF
Control rack
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光刻涂层设备,设计用于开发最灵敏、最具挑战性的光刻涂层基板。它是一种高性能、高精度的系统,可以在基板上涂覆多种光刻胶。TEL Mark V具有许多特性,使其在基板上应用光刻胶时能达到最大精度和效率。TOKYO ELECTRON MARK-V具有精密的涂层机理,能提供精确而一致的厚度、宽度和覆盖面。涂层也受到严密监控,以便快速识别和校正涂层质量的任何变化。这样可以确保光刻胶与均匀涂层一起正确涂抹。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V还有一个精密的控制单元,可以对涂层参数进行精确的控制。这包括对涂层工艺的速度、压力和角度的精确控制。控制机还有助于确保涂层过程平稳运行,并确保光刻胶层的应用正确。TEL MARK-V的另一个特点是它能够精确测量涂在基板上的光敏涂层的厚度和均匀性。该工具使用精确、自动化的光谱和厚度测量来帮助确保光刻胶层的应用正确。这有助于最大限度地减少过度涂层或涂层下造成的缺陷。MARK-V还提供了一些额外的功能,帮助它实现高水平的准确性和效率。其中包括高速涂层资产、广泛的光刻胶特性以及可根据特定用户要求量身定制的一系列可选配件。总体而言,TOKYO ELECTRON MARK V是一种高度先进的光刻胶模型,旨在为基材提供精确一致的光刻胶涂层。其高精度的涂层机构、精密的控制设备和精确的测量能力有助于确保光刻胶层的正确应用。Mark V提供的各种特性和可选配件使其成为寻求高质量的光刻涂层基板涂层者的理想选择。
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