二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293656063 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V是为半导体器件制造中正光刻应用而设计的光刻设备。由TEL, Ltd.开发的TEL Mark V是一套全面的晶圆制造解决方桉的一部分,非常适合需要复杂自动化和控制级别的公司。TOKYO ELECTRON MARK-V系统具有高速激光束扫描仪，可以在任何基板类型上运行30 μ m，而无需额外的聚焦透镜。它能够提供精确的光强度控制,集成到全场光强度调制中,以产生高度一致的尺寸和形状的极其精细的图桉。此外，Mark V适用于各种类型的光刻材料的广泛曝光，包括光刻胶、含氟聚合物和光刻胶模具。MARK-V设计为具有高级吞吐量优化程序的最大吞吐量,可确保每个暴露序列的暴露时间一致。先进的过程控制算法和后端分析工具使用户能够快速检测和响应问题,以保持产量。此外，单元操作员具有实时发现异常的能力，即使在曝光过程中，使用预测趋势显示。该机由专业级处理器板提供动力，提供了高度的精确度和精确度。这有助于确保正确校准工具的所有组件并有效运行。处理器主板还设计用于同时处理多个曝光序列,从而使用户能够最大限度地提高生产效率,同时最大限度地降低总体成本。除了硬件组件外，TOKYO ELECTRON Mark V资产还附带了一系列进一步简化模型操作的软件包。用户友好的软件套件包括高级图像采集和模式注册工具，以及后处理软件，使用户能够设计自己的模式或利用预先定义的模式实现预期的结果。TEL MARK-V的核心是使用户能够快速准确地为其应用制作完美的光刻图桉。该设备具有强大的硬件、处理能力和先进的软件,可帮助确保从任何生产过程中获得最佳结果。