二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293657043 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用于光刻工艺制造半导体集成电路的先进光刻设备。该系统包括扫描仪、光学单元、控制器、真空装置和工艺室。TEL Mark V扫描仪能够在尺寸不超过200 mm的基板上提供亚微米分辨率。它装有二氧化碳激光器，以实现更快的成像和更高的精度。光学机器包括镜子、透镜和光圈,用于激光光束的操作.控制器负责在腔内执行可编程运动，可用于控制扫描仪头和光学器件或将基板送入加工室。真空装置提供了工具操作所需的低压环境。它能够在加工室内保持1-3Pascals的压力范围。该工艺室用于光刻工艺，激光光束被引导到基板上，并施加光刻胶。该资产能够调节腔室内产生的温度，并配有冷却介质。这确保了光致抗蚀剂均匀地分布在基板上，并防止任何燃烧暴露期间。TOKYO ELECTRON MARK-V是一种适用于光刻工艺的有效光刻胶模型。它在生产半导体集成电路时提供行业标准的分辨率和准确性，并得益于先进的光学、温度和压力控制。