二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293752295 待售

ID: 293752295
晶圆大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光刻设备,用于开发和加工用于制造电子零件的光刻零件,如微芯片。该系统包括三个主要组成部分:光源、显影机和光阻条。光源发出特定波长(或多个波长)的光,这是开发和蚀刻光刻零件所必需的。显影机具有一次加工多个光刻胶条的能力,能快速将光刻胶涂抹到基板上。这有助于减少生产蚀刻零件所需的时间。光阻条是一种特定类型的用于蚀刻的材料,包含一层紫外线敏感材料,在暴露于光源发出的紫外线后得到开发和硬化。在将所需的图样蚀刻到基板上之前,光刻胶条经过一系列步骤。在处理过程中,光刻胶带在光源下通过,光源直接向材料发射紫外线,使其在特定区域变硬。然后,显影机将显影剂溶液应用于光刻材料,显影剂溶液穿透未硬化的区域,有效地去除材料并将所需的图样蚀刻到基材中。在开发之后,蚀刻过程开始,选择性地将材料从基材中移除,以便创建所需的零件。完成后,将在显微镜下检查零件,并将其分类为"通过"或"失败"。如果任何零件未能通过检查,则会将其从批次中移除,然后重新加工或重新加工。完成后,将生成一个报告,其中包含有关部件运行和保留的拒绝量的详细信息。然后将此信息转发给客户,客户随后可以验证结果。TEL Mark V光致抗蚀剂装置是研制和蚀刻电子元器件及其它复杂零件的可靠而有效的方法。它的自动化机器有助于降低人工成本和提高产品周转时间。该工具保持高标准的精度和质量,确保每个零件的生产符合客户的规格。
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