二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293758869 待售

ID: 293758869
优质的: 1996
Coater / Developer system 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是为精密晶圆处理而设计的高端、功能强大的光阻开发系统。TEL Mark V利用一个光源,配有波长滤波器,在硅、砷化氙和其他半导体基板材料上开发光刻胶图像。滤波器有助于调节强度水平和波长,从而获得准确一致的结果。该滤光片被设计为接受一系列光源,如紫外线、可见光和接近红外的不同功率水平的光源。这种光敏装置还具有"浮动"聚焦机制,允许较大的聚焦范围和更大的定位精度。此功能可提供高达1微米的聚焦精度,并确保均匀一致的成像。TOKYO ELECTRON MARK-V利用精密级机控制晶圆尺寸和定位。该工具允许用户以纳米范围内的步长分辨率移动舞台。它还配备了内置的WaferMapper功能,使用户能够准确监控工艺条件和参数。在安全方面,TOKYO ELECTRON MARK V配备了很好的防护功能。这些功能符合UL和CE标准等全球安全标准。它还配备了排气过滤器资产,通过控制废气来提高用户安全。TEL MARK-V具有用户友好的界面,允许平稳轻松的操作。界面显示流程设置的可视映射,使用户可以更好地了解流程条件。此外,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V还提供故障管理和错误检测。它配有网络接口,提供快速的信息共享和与其他系统的轻松连接。总体而言,Mark V Photoresist Model凭借其轻型滤光片、高度精确的舞台设备和用户友好的界面等先进功能,为高端精密晶圆处理应用提供了理想的解决方桉。它的安全特性有助于提高用户安全性,故障管理和错误检测有助于快速准确地检测任何潜在问题。所有这些特性使MARK-V成为那些寻求高端、精密晶圆处理的人的理想选择。
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