二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759031 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款高度先进的光阻设备，专为半导体器件的精确阵列设计。该系统能够在基板上产生各种形状和大小的高分辨率图桉。它是一种非常先进的技术，利用先进的光学系统、高精度的自动化阶段和精确的机器人技术来实现精确的对准和对准。该单元精度高，位置重复性为0.5微米，研磨精度为0.5微米，倾斜精度为0.5微米。这样可以确保即使使用多代产品也能实现精确的阵列和形状。此外，机器还可以处理直径达600mm的基板。该工具配备了全自动精密高精度光学测量资产，使精确测量能够快速准确地进行。此模型还允许根据先前测量的值自动校正和优化图像。该设备被编程为执行各种任务，包括掩蔽、曝光和拆除。遮罩涉及使用覆盖基板的光敏材料，这是专门为防止光线到达基板而设计的。曝光是将掩模暴露在特定量的光下激活化学敏感材料的过程，而去除则是去除掩模以获得所需图桉的过程。TEL Mark V配备了激光修整系统，用于激光修整图样特征。这样可以对基板进行高精度的修剪和蚀刻,消除图样中不需要的特征,并提高图样的精度。所有这些能力使TOKYO ELECTRON MARK-V成为极先进的光阻装置。它确保了高度精确的阵列功能和可重复性,使其非常适合各种工业应用。它能够在基板上产生各种形状和尺寸的高分辨率图样，具有精确的定位和可重复性，适合生产半导体等精密器件。