二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293821345 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光刻设备，允许在光刻中进行精确的图样化。光刻是许多行业的重要工具，因为它被用来对材料的薄膜进行图样化，用作半导体、光学薄膜和其他器件。TEL Mark V是一个高级系统,具有多种功能以确保最高质量的阵列。TOKYO ELECTRON MARK-V使用深紫外线（DUV）光源来曝光薄膜，以创造所需的图样。这种光源的波长为248纳米，通过光掩模发送，这种光掩模阻挡了一些光，并允许其他光穿过下面的晶圆。遮罩由不透明区域或窗口的图样组成,这些区域或窗口在晶片上创建图样,然后选择性地涂覆光刻胶。对通过掩模的光的严格控制导致了分辨率为0.45微米的图样。光掩模本身通过真空卡盘固定在设备上。这样,在处理和加载设备时,无需接触光掩码的表面即可固定掩码。然后使用物理和光学对准,沿x和y轴对掩模进行高精度对准。这样可确保蒙版在曝光前和随后的每次曝光时都正确对齐。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V还具有自动对焦控制功能。光学传感器分别测量从设备到下游表面和从光刻膜到下游表面的距离。然后，焦点控制将调整光掩模和基板的高度，以确保最高质量的图样。最后，Mark V有一个创新的基板冷却机，确保晶片在均匀的温度下运行，以防止光刻胶膜随时间的变化。这进一步确保了最高质量的阵列,即使在要求最苛刻的应用程序中也是如此。所有这些特性的结合使得TEL MARK-V成为市场上最先进的光刻胶系统之一。先进的照明源、高精度对准、自动对焦控制和基板冷却工具提供了最高分辨率的图样。此资产非常适合任何需要极高的准确性、一致的结果和可靠性的应用程序。