二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V是一种用于半导体生产的最先进的光刻设备。它设计用于处理各种光敏材料，包括化学放大和非化学放大抗蚀剂配方。TEL Mark V系统经过优化,可提供卓越的分辨率、卓越的线条边缘/宽度性能以及卓越的边缘放置精度。它还设计用于提高每个基板的吞吐量,从而实现更大的成本节约。TOKYO ELECTRON MARK-V单元使用TEL Helios FT-IR光谱技术达到最高性能，使其能够处理广泛的光学组件和基板。它的低温控制使整个基板具有优异的蚀刻性能和更好的均匀性。该机还提供了一个集成的微光追踪工具，用于优化成像和线缘粗糙度，以及实时优化剂量、剂量均匀性和蚀刻速率。资产配备了多种先进特性，非常适合高产生产。它有一个高速多路复用模型，用于基板加载和卸载，以及用于阵列和对齐。它还有一个模块化的软件包，用于控制膜厚度和折射率等剩余的非照片特异性参数。由于其模块化，设备允许增加额外的功能，以提供更大的吞吐量和成本节约。TEL MARK-V系统还提供了一个自动写入字段对齐单元,可实现更高的字段精度和减少机器停机时间。其集成的E-Beam/Stepper工艺控制允许在Stepper和e-Beam工具之间实现卓越的连接和优化。该机还具有集成的基于电子束的覆盖层和水性清洁工具，以实现更快、更可重复的蚀刻。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V被设计为支援最高性能的光刻胶工艺。其强大的技术、广泛的特性和出色的连通性使其成为半导体制造的理想选择。