二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9054827 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是一种先进的自动化涂层和开发系统,专门设计用于光刻回流和光刻。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于光刻，以创建表面微观图样。该机组配备先进的智能过程控制（IPC），精度提高，温度控制完善，精度最高。该机配有一个环境室，采用了一种专利自调节流动技术，高效、准确地涂覆了具有最佳沉积的基板。这样可以确保涂层均匀,并且在广泛的温度范围内性能一致。该工具还配备了提供精确配方控制位置和均匀晶片的先进成像技术。此外，高容量涂层双定位机构有助于基板加工，而伺服控制臂驱动涂层的均匀性。TEL Mark V资产实现了整个光刻过程的自动化,并结合了动态加热模型和可针对各种应用进行调整的波动式热控制等功能。它的高速沉积后设备增加了生产吞吐量，使得更多的饰面对基板的应力更小。此外，系统拥有先进的激光扫描单元，能够精确捕捉光刻图样，并根据图样控制可移动元件。TOKYO ELECTRON MARK-V光致抗蚀剂机具有高性能的清洁循环，为多种基材提供安全有效的光致抗蚀剂层。它内置的过程控制功能指导和监控操作，不断调整和优化参数以确保最高质量的结果。这样可以确保更一致的性能、更好的产量以及最终更高的整体效率。MARK-V工具旨在最大限度地提高基板损耗的过程吞吐量，并可与现有光刻设备集成，提供最高精度。