二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111393 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是一个过程集成的无掩码光刻系统，提供优于传统的掩码制作和光刻工艺的制图能力，使其成为一系列先进应用的理想选择。该单元由一系列组件组成，每一个组件的设计都是为了提供精确和高效的模式能力。机器的核心是光光扫描工具，用于将图像投射到基板的光刻层上。该资产包括高分辨率激光扫描仪、双扫描光学模型和微调光学模块。该设备能够在高图像质量的基板上实现出色的光刻。TEL Mark V由基于Windows 10的用户友好系统控制器提供支持,该控制器允许对设备组件进行精确且可重复的控制。控制器配有图形化的光掩码编辑器和各种应用软件，以协助光刻工艺的设置和自动化。在光刻机开始时，使用对准工具来精确地记录基板，并确保它们正确定位成像。该工具还配备了晶片夹紧机构，以确保基板在曝光过程中保持静止。为了保证图像的最佳清晰度，TOKYO ELECTRON MARK-V具有非接触式激光测量资产，以精确控制光照图样的强度和均匀性。该模型还配备了样品监测设备，能够实时分析基板的放置和暴露情况。在成像方面，这种光刻胶系统能够产生分辨率为0.2 um、线宽降至0.2 um的图样，使其适用于包括半导体、MEMS、光学传感器等在内的一系列应用。为实现高效、方便的操作,Mark V具有直观的用户界面,允许用户配置、监视和诊断设备组件。该机器还具有一系列错误检测功能,可提供可靠的过程控制并最大程度地减少停机时间。总体而言,TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Tool是光刻技术的先进而强大的选择,其用户友好的软件和直观的用户界面提供卓越的成像能力和高效的操作。