二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111401 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是为半导体和先进包装行业的先进光刻工艺而设计的光刻设备。利用真空干燥系统，利用真空从室内抽出空气和水分，提高了光刻工艺的精度。该单元具有高功率激光投影单元，使其能够精确投射激光图样到高分辨率的基板上。它能够支持小型和大型视场操作，并为各种应用提供广泛的激光波长。TEL Mark V配备了高精度的激光束对准机，能够精确控制激光图样进行高质量生产。它还与先进的振动控制系统相结合，以提高表面平滑度和精度。该工具还具有自动调平资产，能够实现相对平坦的表面和可重复的模式；这样可以在较长时间内提高工艺一致性和产率。该模型还与自动化激光控制设备集成在一起，使用户能够调整激光脉冲的频率和投影方向，以进行优化处理。采用多轴电机系统进行逐层校正和校准，提高了光刻工艺的性能。为了减少用户与设备之间的物理接触，机器与可编程逻辑板集成在一起，该逻辑板可以像在电子电路板上一样执行命令和预设值。此外，该工具还集成了先进的模拟程序，可以检查设置的正确性，提前测试TOKYO ELECTRON MARK-V的整体性能。此功能使用户能够在实际进程开始之前识别和调整进程参数。最后,资产还具有可追踪性管理模型,该模型记录过程的每个步骤,并在整个制造过程中提供基于数据的审核跟踪。