二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9225994 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种用于制造半导体集成电路和其他微电子器件的光阻设备。该系统旨在提供精确的层压精度以及高精度的涂层和曝光控制。光敏装置包括微处理器控制机、视觉工具和一系列可编程紫外线（UV）和光学曝光源。微处理器控制层压和均匀涂层工艺、视觉资产和曝光设置,并为用户提供执行常规和临时工艺调整的能力。该型号具有各种适合生产过程的紫外线和光学曝光源选项。其中包括532nm和1064nm激光曝光源、准分子、ArF和KrF兼容曝光源，以及平台支持的多重曝光源。TEL Mark V光刻胶系统的视觉设备提供了对整体胶片均匀性和均匀性的精确控制。此外，该单元使用超细步进达到高水平的基板和层精度。TOKYO ELECTRON MARK-V光刻机可以处理包括硅、玻璃和金属在内的多种基板，也可以处理最小尺寸为5um的束步应用。它还旨在促进广泛的生产过程,包括蚀刻、图样打印和层传输。该工具能够提供许多旨在提高生产效率的功能。这些包括连续生产的在线加工、高吞吐量、模式优化和基板匹配能力。为实现精确操作并保持最高一致性,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V光刻胶资产包括跟踪监视、自动校准以及可视化和监控模型等过程控制功能。该设备还提供警报设置、数据记录、统计分析和支持多种通信协议。总体而言，MARK-V光刻胶系统是一种先进的光刻胶装置，能够提供可靠、可复制和高精度的涂层、层压和曝光性能。该机器的集成视觉工具以及广泛的曝光源和智能过程控制功能使其适合需要精确可靠结果的生产环境。