二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226368 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光刻设备，设计用于半导体及相关产品的精密蚀刻和光刻制造。该系统结合了曝光、化学蚀刻和曝光后烘烤，以产生高保真度的精确面罩图桉。该单元使用14层的浸入式光刻胶（ITP）弹匣应用于晶圆基板。光致抗蚀剂是透明的有机或无机材料，可以暴露在光源下形成化学活性层。当活性层暴露时，暴露的区域可溶于显影剂，然后有选择地去除。此蚀刻过程的结果是光刻胶中的图样转换为所需的图样。TEL Mark V具有异常大的曝光室，结合高分辨率的光学机器和高分辨率的致动机构，以提供ITP的精确曝光。这些特性以及精确的放大倍率和16位数字信号处理分辨率的测量提供了无与伦比的光刻工具,分辨率可降至0.68微米。TOKYO ELECTRON MARK-V具有几种曝光后烘烤功能和工艺，以确保高质量、高保真模式。这包括烘烤后和多步烘烤后,具有控制环境中化学品释放和空气清洁度的额外能力,以实现最大程度的控制。高分辨率测量模块也可用于MARK-V，它从曝光室数据预测预期的芯片尺寸和波长。资产可以与测量设备集成，以获得对成品芯片尺寸和数据的高度精确的测量。Mark V的光刻胶模型为用户提供了最佳的图样质量，同时提供了最大的效率和成本节约。TOKYO ELECTRON MARK V的创造性设计、精密蚀刻能力和高保真图桉，使其成为先进光刻应用的理想选择。