二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226370 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款提供卓越工艺控制和性能的卓越光刻和跟踪设备。它专为高产量的蚀刻和开发过程而设计,具有一系列功能和组件,可实现较高的操作精度。此外，TEL Mark V确保在转移和开发的光刻胶中复制图样是准确和高效的。该系统配有集成过程控制单元，可自动监控关键蚀刻参数。这包括监测、自动校准和精确控制所用光刻材料的蚀刻速率。此外,此单元还可以在一系列点上快速施加均匀的层厚度,确保蚀刻达到最佳水平。TOKYO ELECTRON MARK-V能够在较长的处理时间内进行单层和多层的光敏处理。这样可以显着节省时间和成本,避免过程控制和生产延迟。这些系统还能够进行可重复的高对比度开发，以及高精度的多层光刻。此外，机器可以开发非常小的模式，没有任何边缘或重迭。Mark V包括一个干蚀刻单元，因此可以在不需要湿法化学品的情况下进行蚀刻。这加快了光刻胶的处理时间，比传统的蚀刻方法更有效率。该工具还包括一个自动检查资产和图像处理，以确保蚀刻图像正是它的原意。此外，它可以快速清洁和反冲光刻材料和跟踪材料，以防止任何移动在蚀刻过程中。总之，TEL MARK-V是一种极具优势的光阻和跟踪模型，提供精确的过程控制和可重复的精度。它能够准确高效地执行精确的蚀刻和开发过程,非常适合高产量的应用。该设备还具有先进的功能，如自动检查、图像处理和干蚀刻能力，以进一步简化光刻工艺。