二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226372 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光致抗蚀剂设备,设计用于在分辨率高达100 nm的大晶圆区域上对薄膜层进行最佳成像。它使用色差校正透镜，以获得极高的分辨率和高剂量的曝光时间短。TEL Mark V系统由使用准分子激光作为光源的脉冲激光源供电。该装置能够以0.23毫秒的时间分辨率提供高剂量暴露。激光源在技术上是稳定的，在整个晶片上具有极好的均匀性。TOKYO ELECTRON MARK-V机器配备了"空中"（Over-the-air，OTA）的曝光剂量和深度均匀性测量。这允许对光刻胶图像的质量进行高精度控制。该工具可以帮助简化光刻过程，其直观和易于使用的软件。它可以提供成功的光刻工艺所需的所有参数。它还允许有效的配方和参数控制、错误预防和原位过程控制。该资产具有出色的稳定性和较低的维护要求,从而提高了生产率。它允许精确定位、高精度对齐和对齐反馈。它还在一个位置OTA中支持各级和负载高达200 mm的晶片。MARK-V光刻胶模型是工艺工程的可靠工具，其使用有助于降低制造成本，允许在基板较大的区域上实现多光刻胶层的性能。该设备适用于精密、小型式临界器件的生产.