二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226373 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist设备是为生产高品质半导体器件而设计的先进光刻工具。该系统结合了先进的光学和机械设计,以高效的图像传输到晶圆上。其功能包括高精度图像投影单元、自动色彩对齐和完全自动化功能。该机器能够投影分辨率高达4um的平版图像,用于先进的晶圆制造工艺。该工具利用先进的照明器将高强度光源投射到光刻涂层晶片上。该照明器具有集成的光学资产和扫描仪,以确保最高的图像质量和准确性。图像对齐模型是利用一种特殊的算法来补偿光源中的偏差,从而导致图像在晶圆上的高度精确定位。图像对准后,设备再使用步进电机在晶片上精确移动扫描级,从而更精细地控制投影和曝光时间。TEL Mark V Photoresist系统还具有独特的Color Alignment功能。此特征有助于在光刻胶层上投影时获得精确的色调。它自动调整光源上的RGB颜色参数,确保晶圆上的图像投影高度精确。此外,该单元还包括一个完整的自动化能力,允许用户编程和控制完整的操作。这样就提高了生产吞吐量,减少了操作员疲劳。TOKYO ELECTRON MARK-V光刻机能处理多种晶圆尺寸,支持大量生产。它还设计为即使在恶劣的环境中也能提供高性能,因此非常适合用于自动制造生产线。这种先进的工具提供了卓越的图像分辨率和可重复性,确保了卓越的设备质量。总体而言,TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist资产是光刻和光刻加工的先进、通用和坚固的模型。它可确保高精度和重复性,支持各种晶圆尺寸,并最大限度地减少人工输入和实现自动化处理。对于半导体制造而言,Mark V设备是高质量结果的理想选择。
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