二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226374 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9226374
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Track system, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是为现代半导体处理应用提供多重功能的光刻设备。它旨在满足每一个正在处理的独特样本的特殊要求,使结果更加高效和精确。系统的工作原理是将样品暴露于改变样品属性的光线下。这使研究人员能够为随后的光刻过程或其他蚀刻过程精确地绘制光刻膜或其他薄层的图样。TEL Mark V的设计具有多种功能,使其用途针对手头的应用程序进行了优化。它能够处理和调整暴露水平,以适应各种样品的要求。它还具有多种过滤器类型,并且能够轻松调整每个过滤器的强度,以确保满足样品的要求。其高分辨率相机也经过专门设计,以提高精度。为了准确曝光样品,TOKYO ELECTRON MARK-V单元使用了紫外线和可见光源的组合。机器具有自动聚焦功能,可将焦点调整到每个样本的最佳级别。通过自动传输选项,可以加快传输时间并提高生产速度。该工具的高度控制有助于确保精确和可靠的模式。它配备了标准或定制级别的多级曝光功能。这使得每个特定应用程序都能快速开发和优化过程。MARK-V资产还提供全面的加工能力和对各种基材的控制。它具备处理特定薄膜厚度和分辨率的能力,以确保高精度的图桉。模型还自动补偿来自基板的色散。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V是一种强大的光刻设备,专为高效和精确的光刻工艺而设计。它能够自动处理曝光级别、过滤器类型、聚焦和传输速度,从而改进模式形成。它对基板材料和薄膜厚度提供了更高水平的控制,使图样更加精确可靠。
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