二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226375 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是一种光刻工具，设计用于在硅晶片上精确、均匀的光刻。该系统是多年开发和创新光刻沉积蚀刻工艺的结果。它被设计为在极地下基板上制造集成电路的可靠、高效的工具。TEL Mark V被半导体制造商用来在基板表面沉积和蚀刻光刻石层，然后才能开始制造过程。这个被称为光刻的过程，对于以精确准确的方式将电路模式转移到硅片是必要的。TOKYO ELECTRON MARK-V的先进技术配备了2D分辨率控制、稳定的均匀性、洁净性和高性能水干显影剂的选择。所有工具的设计都能容纳直径达300毫米的基板,并提供最佳的结果,可灵活安排多达四个储罐。Mark V采用双室或双柜设计,比标准光刻工具提供更高的清洁度。洁净室设有隔离层，密封大气，几乎消除了所有的环境污染。MARK-V还利用了一种特殊的软件，旨在创建具有完全一致性和准确性的复杂图像模式。该装置能够加工各种光敏材料，包括自旋涂层和喷涂涂层。对TEL MARK-V进行了优化，以减少颗粒污染，在1 μ m至2 μ m的范围内提高抗蚀膜厚度的均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V提供了令人印象深刻的性能优势列表。能精确抵抗薄膜厚度控制，高分辨率图样，工艺时间快，清洁度达99.5%。密封和低粒子排放，以及良好的均匀性。此外,该机器还提供灵活的双色润湿,并利用各种自动化技术,便于配置、编程和操作。TOKYO ELECTRON MARK V是一种非常坚固可靠的工具，并得到其制造商的全面服务计划的支持。