二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226376 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种光刻式单晶片製造设备，设计用于在半导体器件中产生高度精确和均匀的特徵。该系统的工作原理是将晶片表面暴露于来自特殊光源（如激光器）的光图桉中。这种光的图样在晶圆的光致抗蚀层中产生潜像，然后在光刻过程中用于创建微结构。TEL Mark V单元通过提供对曝光过程的精确控制,提高晶圆产量和加工质量。这包括先进的光强度控制和运动控制，允许用户根据设计规范精确调整光源的曝光强度。TOKYO ELECTRON MARK-V机装有包括高性能折射透镜的精密光学工具。这些透镜在整个晶片上提供均匀的光分布，并实现精确的光曝光控制，消除曝光水平的任何变化。这样可以确保整个晶片的暴露水平保持均匀,从而产生性能不变的均匀微结构。TOKYO ELECTRON MARK V资产具有一个敏感的温度控制模型，在整个曝光过程中保持稳定的温度，确保了一致的光刻胶质量。该设备还提供了一个自动晶片登记系统，可以精确定位晶片，避免在光刻过程中出现任何偏移或错位。此外，Mark V支持多种不同的光刻胶测量，为测试光刻胶质量提供了广泛的条件。这允许对光刻胶进行准确、实时的监测，使用户能够对曝光过程进行任何必要的调整，以确保所需的结果。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V是一种高度先进和可靠的光阻装置，旨在在半导体器件中始终如一地生产高质量的微结构。机器的精密光学、温度和配准系统为用户提供高精度和对曝光过程的控制,确保可重复的结果不受性能变化的影响。