二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226377 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款为先进的纳米加工和器件制造而设计的光刻设备。该系统基于一种复杂的扫描配置，其中使用单个激光将一系列模式传递到不同的基板上。激光束通过透镜、二色镜和其他允许大面积模式书写和蚀刻的元素，分辨率低于100 nm。精密的扫描单元和精确校准的原位补偿器可实现快速的模式传输时间和高精度。TEL Mark V光刻机配备了先进的控制功能，提供超高分辨率的图样。其具有图像稳定技术的快速、精确的光学工具与先进的微处理器控制器配合工作，直接驱动步进电机的光束位置。这种控制功能提供了比传统系统更好的速度和精度。TOKYO ELECTRON MARK-V资产提供出色的薄膜选择性，提供高放大倍率和优越的图像质量的亚微米特征分辨率。光学模型即使在最具挑战性的蚀刻过程中也能提供高分辨率。其可变的光束大小和功率水平允许严格控制曝光和蚀刻时间，从而可以创建复杂的结构。TOKYO ELECTRON MARK V还包含了设备总量控制的重要高级功能。其开放架构支持与现有系统的集成，提供对所有过程参数的灵活控制。该系统包括用于模拟蚀刻模式的内置软件工具。它还能够根据扫描速率或基板表面的变化自动调整曝光。TEL MARK-V配备了集成的安全功能,包括封闭式扫描室、保护膜和氮气清除系统。其自动化、易于使用的操作也使其适合用于低成本的研发环境。凭借其先进的特性，Mark V提供了生产高分辨率纳米尺度特性所需的灵活性和准确性。