二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226378 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一种高精度的光致抗蚀剂设备，用于在半导体基板上蚀刻错综复杂的图样。它是一种提供高精度、高速胶片开发的单波长光刻系统。TEL Mark V利用计算机控制光学单元（CCOS）和气相曝光工具（GEPT）简化蚀刻和图样制作过程。TOKYO ELECTRON MARK-V提供出色的分辨率和特征的均匀性以及高速膜的开发。它配备了先进的模式对齐机（PAS），提供实时的曝光位置校正，使其能够高精度地在基板上定位模式。此外，开发工具高速精准，具有高通量的电动激光基抗蚀剂对准和均匀曝光。Mark V提供了种类繁多的暴露的氧化膜和减少的气孔，通过使用极薄的线条和紧密成型的特征，允许更大的设计灵活性和改进的电路性能。它还提供了一种先进的线缘粗糙度（LER）降低资产,以实现卓越的阵列化结果。TEL MARK-V通过其化学前体控制机制和抗蚀剂参数的微调，确保了高性能、高音高、小尺寸的设计。MARK-V模型凭借其先进的特性,非常适合高度复杂和复杂的抵抗应用。它非常适合需要快速、精确、精确蚀刻解决方桉的应用，例如在半导体晶片和内存芯片的制造中。它高速的薄膜开发、最优的模式对准能力，以及先进的LER还原设备，使得它在需要精确的模式时成为可靠高效的选择。