二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9234099 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是由TEL Ltd开发的光刻胶设备。该系统旨在为半导体制造商提供改进的光刻工艺。它采用步进和扫描仪组合轴，有助于将电路模式准确可靠地传递到大面积基板上。TEL Mark V配备了集成数字信号处理（DSP）环境，简化了对流程的控制，减少了人工干预的需求，简化了配方开发。它还有一个LEAP半导体检查组，为测试目的提供具有多波长光的高分辨率成像。LEAP机还可以测量模内工艺特性，然后根据需要采取纠正措施。此外，该工具包括一个表面张力模块和一个ultrathin topcoat。这允许形成超光滑的表面，消除任何可能由表面变化引起的干扰。这确保了均匀的沉积，并防止产生可能导致转移过程失真的细微沟槽和山脊。此外，它还配备了一个无掩码光刻资产，其特点是紫外线暴露与多激光盖。这样可以实现更快速、更精确的曝光过程,并具有最小的线宽变化。它还具有降低线路损耗和增加覆盖精度的高功率激光器。总体而言，TOKYO ELECTRON MARK-V模型为先进的半导体制造要求提供了可靠而精密的光刻工艺。它是为易于使用而设计的,具有直观的用户界面,以及高精度和各种工艺参数的可变重迭,使其成为最通用的系统之一。