二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9241680 待售

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ID: 9241680
晶圆大小: 6"
(2) Developer system, 6" TC Rack / Chemical cabinet WEE Configuration (2) COL 4HP.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V(TEL/TEMV)是一种用于半导体器件生产工艺的光刻设备。它被设计成一种多用途、高通量的工具,用于先进半导体器件的晶圆后制造。TOKYO ELECTRON/tEMV系统具有独特的直接写入、半自动操作功能,可实现精确且可重复的处理效果。它配备了高精度的激光书写头、强大的定位平台、高效的微型扫描单元。这些进步确保了TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV产生优越且高度精确的光阻图样。TEL/TEMV机的主要用途是处理平板显示器中使用的薄膜晶体管(TFT)。TFT帮助控制显示图像的电压和电流,并为屏幕提供清晰、高清的图像。通过使用TOKYO ELECTRON/TEMV,在TFT器件上沉积金属膜或制造氧化物材料所需的关键步骤以高精度和高速执行。TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV工具也适用于一些先进的集成电路(IC)工艺。这包括形成沟槽结构和3 D晶体管以及导电层制图过程。这样可以实现更高的电路速度、更高的分辨率和更好的整体性能,同时仍能在光刻胶阵列制作过程中实现卓越的精度和一致性。TEL/TEMV资产产生与各种材料和轮廓兼容的光刻胶图桉。这包括聚合物、导电底物和单晶片结构。它具有广泛的材料兼容性和连续操作,可实现更好的吞吐量、更低的成本和更一致的模式。另外,TOKYO ELECTRON/TEMV模型被设计得极为人性化。它利用了一系列的自动控制,可以快速、方便地设置各种各样的子流程和材料。该设备还具有直观的用户界面,可以轻松控制系统和过程参数。TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV是半导体生产过程中的绝佳工具,因为它提供了卓越的精度、吞吐量和可重复性。其先进的特性还提供了最佳性能,从而为各种半导体应用提供了高度可靠和精确的光刻胶图样。
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