二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250080 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用于多种微加工应用的先进光刻设备。光敏材料是一种光敏材料，用于多种类型的工艺，包括半导体器件制造、微机电系统（MEMS）、平板显示器（FPD）生产。TEL Mark V有助于光刻材料的精确涂层和图桉。该系统由一个CT17系列涂层室、一个高级阵列单元和一系列外围设备组成。CT17系列采用高精度、高速覆盖，最大均匀度± 0.2%。这种涂层室可用于各种类型的光刻胶材料，包括干膜光刻胶、溶液和润滑剂。它还有一个集成的循环空气幕，有助于实现高度的均匀性和更长的曝光时间，使其成为先进的光刻应用的理想选择。TOKYO ELECTRON MARK-V上的先进制图机具有两个独立的辐射器，每个辐射器的最大曝光功率为10倍。这允许更大范围的曝光角度和更高的纵横比，这对于现代的微加工工艺来说是必不可少的。制图工具还具有内置的对齐资产，以确保光刻胶在基板上的精确放置和对齐。TOKYO ELECTRON MARK V的外围设备包括超声波清洁器、热板自旋处理器和曝光轨迹控制器。超声波清洁剂用于在蚀刻或曝光之前清洁光刻涂层底物。热板自旋处理器允许对基板进行精确控制的加热，这对于光刻胶的均匀涂层是必不可少的。曝光跟踪控制器提供步进或伺服驱动的曝光过程,确保准确的移动和最大的吞吐量。总之，TEL MARK-V为微加工应用提供了可靠有效的光刻胶模型。由于其高精度、高速的覆盖和精确的制图能力，这种设备适合广泛的光刻工艺。Mark V结合其各种外围设备,为各种微加工工艺提供了经济高效的解决方桉。