二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250081 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9250081
晶圆大小: 6"
优质的: 1992
(2) Developer system, 6" 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款光刻胶设备,旨在支持广泛的高精度和高速膜处理应用。该系统专门设计用于生产半导体器件、光盘和印刷电路板。它提供了高速、高分辨率、低拥有成本的三维胶片处理工作流程。TEL Mark V配备了扫描激光曝光单元(SLES),该单元配备了工业级驱动器和高分辨率成像镜头。这台机器能够在X轴和Y轴上转移焦点,从而能够高效生成大型和复杂图案的图像。它还具有提高激光功率稳定性精度的自动校正技术,以优化曝光。它提供各种用户定义的分辨率设置,从每英寸0.5到900行,以实现最高的光机精度。TOKYO ELECTRON MARK-V还配备了薄膜测量和显影工具(FMDS)。该资产有多个处理部门,可以同时测量和开发正负光抗蚀剂。它可以支持多种曲面类型,包括光滑、蚀刻和粗糙的曲面。它还可以处理包括SiO2、Quartz、硅片等多种底物。该模型具有高精度薄膜厚度测量和精度对准,以提供最高的基准精度。Mark V能够为光刻胶过程提供高级数据管理和错误检查。该设备旨在提供可靠且易于控制的环境,并具有安全的数据传输和准确的结果。它支持虚拟网络通信协议,以便于访问数据中心和控制室。它还拥有高速数据传输系统,以确保快速可靠的数据传输。TEL MARK-V专为当今苛刻的半导体器件、光盘和印刷电路板生产环境而设计。它为胶片加工提供了一个高精度、高速度、可靠的单元,拥有成本低。它结合了SLES、FMDS和数据管理功能,使其成为任何生产环境的理想选择。
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