二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9265517 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是专门为处理高端半导体器件而设计的高性能系统。它是一个交钥匙光刻装置,提供卓越的性能和灵活性,以满足当今先进半导体技术的严格要求。TEL Mark V Machine拥有创新的硬件,旨在应对双阵列、3D集成电路和光学浸入式光刻等高级工艺的挑战。该工具包括旋转晶圆座、晶圆调平系统、晶圆旋转系统、先进电子束系统、先进照明光学器件、高精度激光干涉仪控制的Z轴调节器、晶圆传输资产、晶圆分级转盘、高速配方编程等。TOKYO ELECTRON MARK-V Model优越的性能和灵活性使用户能够快速、准确地处理晶圆并获得可重复的结果。灵活的软件体系结构允许可定制的配方开发和快速的晶圆周转时间。设备配备先进的晶圆传输系统和高速配方编程，用于快速、精确的晶圆定位。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V单元还包括先进的照明光学器件，针对光刻工艺进行了优化，以实现更高的成像保真度和重复性。先进的电子束系统提供高通量和均匀性的中小型临界层的高对比度成像。晶圆调平机可确保晶圆在加工过程中的精确放置,从而实现最佳成像质量和监控结果。TOKYO ELECTRON MARK V Tool的灵活性允许快速处理复杂的技术要求。它结合了高精度的性能和快速的晶圆周转时间,同时在集成新技术方面提供了出色的灵活性。这一资产是设备制造商的理想选择,他们需要一个强大而可靠的解决方桉来满足其高端半导体处理需求。