二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9276699 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是由TEL（TOKYO ELECTRON）製造的光刻胶设备。用于半导体工业，用于制造工厂晶圆等微电子元件的加工。该系统的工作原理是使晶片暴露于紫外线之下，紫外线是聚合物材料或光敏涂层沉积的催化剂。然后可以用酸溶液在特定区域蚀刻这种涂层，在晶片上创建所需的结构。此过程对于集成电路的制造是必需的,因为它可以在几分钟内创建具有紧密公差的高精度阵列和几何形状。TEL Mark V是一个完全自动化的单元，设计为高效可靠。它具有许多高级功能,如闭环晶圆对齐器、高分辨率显示器和数字信号处理。这使机器能够精确跟踪晶片的位置和运动，从而能够精确处理光刻涂层。该工具还配备了晶圆运输资产，以减少灰尘和碎屑造成的污染，以及一个可确保光致抗蚀剂均匀分布的抗蚀涂层室。除了高效的设计，TOKYO ELECTRON MARK-V提供了广泛的工艺能力。它能够处理不同类型的光敏材料，如负层、正层、双金属层。模型还包括一个称为"delta-line"的特征，使其能够根据应用产生不同的模式。这允许MARK-V用于不同类型的任务，如光刻、蚀刻、电镀、金属化和装置结构。此外，该设备具有较长的预期寿命，在任何环境下都能提供可靠和一致的性能。总体而言，TEL MARK-V是一种先进的光刻胶系统，用于电子工业中的各种任务。它提供精确的处理功能、自动化功能和广泛的流程功能。此外，该设备高度可靠，预期寿命长，性能持久。这些特性使其成为制造集成电路和其他微电子元件的理想解决方桉。