二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9290142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光致抗蚀剂设备是一种高性能、高精度的晶圆加工工具，设计用于半导体制造及相关加工应用。它具有独特的汽车级设计,使其非常可靠和坚固。TEL Mark V以精确控制光刻涂层的温度和沉积参数而着称，使沉积光滑，并具有一致、高质量的结果。TOKYO ELECTRON MARK-V可用于各种工艺，如玻璃自旋涂层、光刻、蚀刻。该系统由几个组件组成：一个湿蚀刻模块、一个计量单元、一个光刻源、一个电接触单元、一个热站和一个控制单元。湿蚀刻模块有一个工艺室，该室配有双调制晶片外壳，以及用于晶片预蚀刻的热水浴。这确保了均匀的湿蚀和良好的温度控制。计量装置为光刻胶源提供正确数量的材料，允许精确和一致的晶片涂层。光致抗蚀剂源是一种真空单元，可以在晶片上产生高速、精确、均匀的光致抗蚀剂沉积。电气接触单元负责允许从加工室外的工具进行电气连接，以便随时对其进行监控，以进行准确的过程控制。热站调节工艺室温度，确保精确、可重复的结果。最后，控制单元允许全过程自动化，使用户能够从控制单元远程观察和控制过程。MARK-V是一个先进的机器，能够快速和高效的晶圆处理。它设计为可靠一致地运行,并提供出色的分辨率、准确性、可重复性和结果。这使得它成为任何寻求可靠和高效光刻工具来满足其处理需求的组织的绝佳选择。